1、从结构机制中补偿压电电机预载伸缩问题，提升DUV掩模检测成像系统中产率和性能。
2、建立压电陶瓷堆叠在超精密微动台上的控制算法、非线性补偿优化算法及建模方法，实现亚纳米级定位精度。