"多源蒸发输运沉积、高效氧化物薄膜沉积、多层薄膜超导带无损分切等技术。
1.与IBAD设备匹配，适配MgO晶体生长过程检测；建立RHEED国产化监测系统；
2.千米级高温加热薄膜沉积系统国产化；
3.高精度多层薄膜超导带电流无损分切技术；"