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| 技术领域 | 先进制造工艺与装备,先进制造与自动化,大规模集成电路制造相关技术,制造执行系统（MES）技术 | 需求类型 | 关键技术研发 | 有效期至 | 2024-04-30 |
| 合作方式 | 合作开发 | 需求来源 | 所在地区 |
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